?空氣過濾?:無塵車間的空氣循環首先通過初效過濾器、中效過濾器和高效過濾器進行過濾。初效過濾器主要過濾掉較大的顆粒物,中效過濾器進一步過濾中等大小的顆粒物,而高效過濾器(如HEPA或ULPA過濾器)則截留至少99.97%的0.3微米顆粒物,確??諝獾臐崈舳?。
?氣流管理?:無塵車間的氣流管理至關重要。常用的氣流方式包括層流和湍流。層流是指氣流以單一方向流動,速度穩定,能夠有效帶走顆粒物;而湍流則通過不規則流動減少顆粒物在空氣中的停留時間。
?空調系統?:空調系統在無塵車間中扮演著重要角色,負責室內空氣的循環、過濾、溫度和濕度控制??照{系統通過送風口將過濾后的空氣送入車間,并通過回風口將污濁空氣排出,形成一個循環系統。
?壓力控制?:為了保持車間的潔凈度,無塵車間還需要進行壓力控制。通常,主車間對相鄰潔凈房間的壓力差應≥5Pa,潔凈房間對非潔凈區的壓力差應≥10Pa,以防止外界污染進入車間。
?溫濕度控制?:無塵車間的溫度和濕度也有嚴格的要求。一般來說,冬季溫度應維持在16℃±2℃,夏季溫度應≤26℃±2℃,相對濕度應保持在45-65%RH,以確保設備和產品的穩定運行。